一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试

(一)空态、静态测试

空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。

静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。

(二)动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。

洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

二、空态、静态测试

(一)测试前的准备

1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。

2、采用光散射粒子计数器对******空气过滤器进行检漏测试。首先测定******空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30，000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离******空气过滤器2--3厘米处，可以2～4厘米/秒的速度移动，对******空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。

当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。

(二)测试内容

1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;

2、洁净室压力值;

3、层流洁净室断面风速和气流流向;

4、洁净工作区的洁净度;

5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;

6、洁净室内噪声。

(三)洁净工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。光散射粒子计数法：

1、光散射粒子计数器采样量100级：每次采样量大于或等于1升。l，000级-l0，000级：每次采样量大于或等于0.3升。100，000级：每次采样量大于或等于0.1升。对于100级洁净室，宜采用大流量粒子计数器进行测试;如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。

2、采样注意事项：

(1)采样管必须干净，连接处严禁渗漏。

(2)采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于1.5米。

(3)采样管口的流速，宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。

(4)采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。

3、测点布置

(l)检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米

(2)层流洁净室测点总数不小于20点，测点间距为0.5～2.0米，粒径大于或等于0.5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在******洁净工作区内。

(3)乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。每增加20-50平方米，增加3--5个测点。

4、数据整理

(1)每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，取其平均值，即为该点的实测数值。

(2)对于大于或等于0.5微米的尘粒数确定：层流洁净室取各测定点******值，乱流洁净室取各测点的平均值。

(四)正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。

三、动态测试。在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行，测试方法同空态、静态测试。

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